攻坚216天！吉林企业破解世界级加工难题

近日，记者从吉林省巨程智造光电技术有限公司（以下简称“巨程智造”）获悉，企业通过研发团队216天的技术攻关，在氟化钙(CaF₂)晶体超精密加工上突破技术壁垒，成功解决一道世界级加工难题，实现了全频段亚纳米精度的稳定加工，能够完全满足半导体晶圆明场与暗场检测等核心环节对光学元件的严格要求。

“在高端光学制造领域，材料的加工精度直接决定着尖端装备的性能边界。”企业董事长杨东来介绍说，巨程智造是国家级高新技术企业、省级“专精特新”中小企业和我省首批瞪羚企业，作为光电智造领域里的后起之秀，我们依托创新团队和从国内外引进的高精尖设备，研制生产出大口径非球面镜、高精度的透镜以及氟化钙产品等，为长光卫星等国内外知名企业配套，国内外订单量逐年增加。

“φ27mm氟化钙双凸透镜是研发团队通过自主创新研制的新产品。氟化钙晶体因其独特的透光特性和低非线性效应，成为半导体晶圆检测、深紫外光刻、高端显微等系统中不可或缺的光学材料。”企业副总经理李薇表示，由于氟化钙质地柔软、易潮解、加工易产生损伤等特性，使得氟化钙晶体实现高精度、高表面质量的加工成为世界级难题。为攻克这一“拦路虎”，企业从去年03月开始就组建研发团队进行技术攻关，历时约216天，成功攻克了这道世界级难题。

据了解，这款透镜不仅实现了纳米级的面型控制，更在关键通光区域内达到了极高的洁净度标准，为检测设备的分辨率和信噪比提供核心保障，其面型精度、局部光洁度等关键性能数据处于行业领先地位。

“这次技术突破与新产品的成功研发，意味着国内半导体设备厂商在核心光学元件的供应链上拥有了一个技术领先、质量可靠、响应迅速的顶级选择，巨程智造将持续聚焦于超精密光学技术的创新与迭代，致力于成为全球高端装备智造商最值得信赖的合作伙伴。”杨东来说。

来源：彩练新闻